Geol

Support - ÀÚÀ¯°Ô½ÃÆÇ


  • Åõ°úÀüÀÚÇö¹Ì°æ ¾ÈÀüÀåºñ °ü·Ã ¹®ÀÇ
    ÇѽÂÇö 2020.04.10


    ¾È³çÇϽʴϱî.

    Åõ°úÀüÀÚÇö¹Ì°æ(JEM-2100) ¾ÈÀüÀåºñ°ü·Ã ¹®Àǵ帳´Ï´Ù.

    Á¦Ç° »ç¿ë¸Å´º¾ó¿¡´Â »ç¿ëÇØ¾ß ÇÏ´Â ¾ÈÀüÀåºñ°¡ µû·Î ¸í½ÃµÇ¾î ÀÖÁö ¾Ê½À´Ï´Ù¸¸,

    Á¦Ç° ÀÚü¿¡ ºÎÂøµÈ ¾ÈÀüÀåÄ¡ ¿Ü¿¡ 20¸¸º¼Æ® ÀÌ»óÀÇ ÃæÀüÀü·Î°¡ ³ëÃâµÇ¾î ÀÖ´Â Á¡À» °í·ÁÇÏ¿© ¼³Ä¡°¡ ÇÊ¿äÇÑ ¾ÈÀüÀåºñ°¡ ÀÖ´ÂÁö ±Ã±ÝÇÕ´Ï´Ù.

     

     

      ´ñ±Û
    À̸§
    º¸¾ÈÄÚµå ( ´ñ±Û ÀÛ¼º½Ã ÇÏ´ÜÀÇ º¸¾ÈÄڵ带 ÀÔ·ÂÇϼ¼¿ä )

     
     
      [ ÀÌÀü±Û ] [E-beam lithography] beam current°ü·Ã
      [ ÇöÀç±Û ] Åõ°úÀüÀÚÇö¹Ì°æ ¾ÈÀüÀåºñ °ü·Ã ¹®ÀÇ
      [ ÀÌÀü±Û ] µðÅØÅÍ °ü·Ã Áú¹® ÀÔ´Ï´Ù.