Support - ÀÚÀ¯°Ô½ÃÆÇ
¾È³çÇϽʴϱî. Åõ°úÀüÀÚÇö¹Ì°æ(JEM-2100) ¾ÈÀüÀåºñ°ü·Ã ¹®Àǵ帳´Ï´Ù. Á¦Ç° »ç¿ë¸Å´º¾ó¿¡´Â »ç¿ëÇØ¾ß ÇÏ´Â ¾ÈÀüÀåºñ°¡ µû·Î ¸í½ÃµÇ¾î ÀÖÁö ¾Ê½À´Ï´Ù¸¸, Á¦Ç° ÀÚü¿¡ ºÎÂøµÈ ¾ÈÀüÀåÄ¡ ¿Ü¿¡ 20¸¸º¼Æ® ÀÌ»óÀÇ ÃæÀüÀü·Î°¡ ³ëÃâµÇ¾î ÀÖ´Â Á¡À» °í·ÁÇÏ¿© ¼³Ä¡°¡ ÇÊ¿äÇÑ ¾ÈÀüÀåºñ°¡ ÀÖ´ÂÁö ±Ã±ÝÇÕ´Ï´Ù.
|
||||||||
|
||||||||
[ ÀÌÀü±Û ] [E-beam lithography] beam current°ü·Ã [ ÇöÀç±Û ] Åõ°úÀüÀÚÇö¹Ì°æ ¾ÈÀüÀåºñ °ü·Ã ¹®ÀÇ [ ÀÌÀü±Û ] µðÅØÅÍ °ü·Ã Áú¹® ÀÔ´Ï´Ù. |