안녕하세요..

EDS 측정 시 C가 검출 되는 것에 대한 질문입니다.

알루미늄 제조 시 별도로 C를 투입하는 공정이 없는데 EDS 시 C가 검출되곤 합니다.

일부 noise 라고도 하는 의견이 있는데

왜 C 가 검출되는 것이며, C의 양을 적게 하고자 하면 어떻게 해야 하는지 궁금합니다.

긴급을 요하는 것이어서 빠른 답변 부탁드립니다.

감사합니다

---------------------------------------- 답글 ----------------------------------------

안녕하십니까?

이 문제는 여러차례 언급 된 것으로 이 곳 게시판에도 올려진 글이 있을 듯 합니다.

여하튼 샘플에 포함 되지 않은 carbon이 검출 되는 것에 대해 의구심이 드시리라 생각 됩니다. 다시 한번 설명 해 보겠습니다.

분석은 SEM 챔버 안에서 이루어 집니다. 그리고 이 챔버는 진공 상태이고요. 그러나 완벽한 진공이 어렵기 때문에 내부에 잔류가스나 수분등이 존재 하고 있습니다. 

이들이 샘플을 비롯한 챔버내의 여러곳을 오염시키게 됩니다. 그 정도는 진공상태에 따라 달라지겠지요. 그리고 샘플또한 문제 입니다. 샘플이 오염되어 있거나 자체에 개스나 수분을 포함한 상태라면 역시 챔버를 오염시키게 되지요. 이런 상태에서 높은 에너지를 갖는 전자들이 샘플을 때리면 그 반응으로 Hydro carbon을 만들게 됩니다. 이 것이 샘플에서 carbon이 검출 되는 이유 입니다. 따라서 샘플의 같은 점을 장시간 분석 한다면 검출되는 카본의 양 또한 늘어나게 되는 것 입니다. 샘플 관찰시 관찰 영역이 주변에 비해 검게 보이는 이유 이기도 합니다.

이를 방지하고자 한다면 챔버 내의 진공은 사용자가 어떻게 할 수 있는 항목이 아니기 때문에 샘플 제작시 좀더 신경써서 만들어야 됩니다.

1. 샘플은 충분히 건조 되어야 합니다. 

2. Carbon tape의 양은 가능한한 적게 사용하여야 합니다. 샘플을 밑에서 고정하고 샘플 밖으로 나오는 것은 좋지 않습니다.

3. 샘플을 맨손으로 만지거나 하면 오염 됩니다. 꼭 장갑을 끼고 다루어야 합니다.

4. 샘플을 아세톤 또는 알콜등으로 세척후 충분히 건조 시킨후 관찰 합니다.

5. 수지 몰딩 샘플의 경우 하드엑스레이에 의해 카본이 나올 수 있으므로 샘플을 충분히 크게 몰딩 하야 합니다.

이렇게 샘플을 만들고 확인해 보시기 바랍니다.

감사합니다.