풍산 울산사업장 오성규기사입니다.

EDS 관련하여 문의드립니다.

일전에 SEM이 안되어 방문 요청드려 점검 후 부터 나타난 증상입니다.

 예전에는 대수롭게 생각하고 있지 않다가 뭔가 이상 있다고 생각되어 자문 요청드립니다.

 이상증상

  1. EDS 분석시 SEM Spot size를 아무리 올려도 5% 미만으로 나옵니다.

  2. Input rate 확인 결과 0.5cps를 넘지 않네요

  질의사항

   1. 위 상황에서 나오는 증상에도 결과로 나온 성분값을 믿을 수 있을까요? 

   2. Dead Time 및 Input rate가 정상되기 위해서 당사에서 할 수 있는 작업이 있나요?

      아니면 방문 요청드려야 하나요?

 EDS 장비는 INCA로 적혀 있었으면 구입 시기는 2001년도로 파악됩니다.  

수고하십시요. 

---------------------------------------- 답글 ----------------------------------------

안녕하십니까?

X-ray count가 적게 나오는 데는 여러가지 이유가 있습니다. SEM 과 관련되어 있거나 EDS자체의 문제이거나 할 수 있죠.

1. EDS 의 detector는 일정한 각도로 샘플을 향하고 있습니다. 따라서 그 각도가 많이 벗어나면 X-ray가 잘 들어 가지 않을 것 입니다. Detector 각도는 일정 하므로 SEM의 물리적 WD(working distance) 에 따라서 달라지게 됩니다. 따라서 항상 사용하던 WD에서 분석을 했는지 확인 해 주십시오.

2. X-ray의 발생량은 SEM의 beam current에 비례 합니다. 따라서 적정 spot size를 사용하고 있는지 확인해 주십시오. 항상 사용하던 spot size라고 해도 필라멘트 교체후 같은 beam current를 변화 시키는 요인이 있으므로 GUN alignment를 다시한번 해 주시고 분석 해 보십시오. 또 OL aperture의 센터링은 제대로 되어 있는지도 확인 해야 합니다. 

3. 적은 count의 X-ray로 분석을 하면 미량 원소의 분석에서 오차가 발생 하거나 아예 검출 되지 않을 수도 있습니다. 하지만 peak이 잘 나타나는 원소의 분석은 문제가 없을 것 입니다. 

4. EDS 자체의 문제는 없어 보입니다. SEM쪽의 GUN alignment 와 Aperture centering을 다시 하면 해결 될 것으로 생각 됩니다.

감사합니다.